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半导体功能薄膜工程技术研究中心

 
级别: 部级
领域: 新材料
层次: 核心层
主要研究方向: 主要研究方向有新型相变存储技术、新结构SOI及其应用、特种SOI材料及其应用、硅外延技术。
建设批准部门: 科技部、中科院
建成年月: 2003.05
人员总数: 24
联系方式: 地址: 上海市长宁路865号
邮编: 200050
网址: www.sim.ac.cn
基地负责人: 宋志棠
联系电话: 62511070
传真: 62134404
联系人: 宋志棠
电子邮件: Ztsong@mail.sim.ac.cn